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光谱共焦原理的优点(光纤同轴位移传感器/彩色激光位移计)

2023-11-24

1.可以测量多种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。 2.无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。 3.高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。
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光谱共焦位移传感器在半导体领域的测量

2023-11-24

光谱共焦位移传感器是一种最近流行新型的光学传感器,其基本原理是一束白光 经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上,色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,部分反射光反射回去。照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件,通过小孔照射到光谱分析仪。
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