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光谱共焦原理的优点(光纤同轴位移传感器/彩色激光位移计)

2023-11-24


1.可以测量多种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。 2.无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。 3.高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。

1.可以测量多种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。

2.无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。

3.高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。

4.温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米测量,温漂是关键。

5.自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面。

6.横向分辨率高:从上到下总是在焦点上,测量光斑均微小,能分辨被测物上的微小轮廓变化。

7.模块化小型化:镜头和控制器可以通过光纤连接,传输距离远,镜头可以做得很小,便于并排安装。

8.调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。

9.透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。

10.全息性:理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。

11.安全性高:寿命长的LED光源,微小功率的白光,比激光对人眼安全,不受限于激光危害等级。

12.高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防止虫害鼠咬。

关键词:

色谱柱

SPE小柱

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光谱共焦传感器的校准方法

根据光谱共焦的测量原理,控制器需要对反射回的光谱信号进行分析。但是在没有测量样品的条件下,控制器里的传感器仍然能够侦测到一些信号。这些信号通常被称之为暗信号,由光纤耦合器和测量头反射回来的杂散光组成。

2023-11-24

光谱共焦原理的优点(光纤同轴位移传感器/彩色激光位移计)

1.可以测量多种表面:镜面、弯曲或倾斜的镜面、粗糙面、透明、液滴表面等的测量都变得容易。 2.无阴影效应:光从四面八方照射到样品,激光原理一个方向被遮挡无法测量的区域,共焦容易解决。 3.高分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。

2023-11-24

光谱共焦位移传感器在半导体领域的测量

光谱共焦位移传感器是一种最近流行新型的光学传感器,其基本原理是一束白光 经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上,色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,部分反射光反射回去。照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件,通过小孔照射到光谱分析仪。

2023-11-24